1. Putekļu daļiņu noņemšana bez putekļiem, tīra telpā
Tīras telpas galvenā funkcija ir kontrolēt atmosfēras tīrību, temperatūru un mitrumu, kurai tiek pakļauti produkti (piemēram, silīcija mikroshēmas utt.), Lai produktus varētu ražot un ražot labā vides telpā. Mēs šo vietu saucam par tīru istabu. Saskaņā ar starptautisko praksi tīrības līmeni galvenokārt nosaka daļiņu skaits uz kubikmetru ar diametru, kas ir lielāks par klasifikācijas standartu. Citiem vārdiem sakot, tā sauktie putekļi nav 100% bez putekļiem, bet gan ļoti mazā vienībā. Protams, daļiņas, kas atbilst putekļu standartam šajā standartā Optiskās struktūras produktu ražošanā.
Kontrolējot putekļu daļiņu skaitu ar daļiņu izmēru, kas lielāks vai vienāds ar 0,5 mikroniem uz kubikmetru līdz mazāk nekā 3520/kubikmetru, sasniegs Starptautiskā standarta A klases A klasi. Nodrošināto ražošanā un apstrādē izmantotajam standartam, kas nesatur putekļus, ir augstākas prasības putekļiem nekā A klasei, un tik augstu standartu galvenokārt izmanto dažu augstāka līmeņa mikroshēmu ražošanā. Putekļu daļiņu skaits tiek stingri kontrolēts ar 35 200 uz kubikmetru, ko parasti sauc par B klasi tīras telpas rūpniecībā.
2. Trīs veidu tīras telpas valstis
Tukša tīra istaba: tīra telpas iekārta, kas ir būvēta un kuru var izmantot. Tam ir visi atbilstošie pakalpojumi un funkcijas. Tomēr objektā nav aprīkojuma, ko operatori pārvalda.
Statiskā tīra istaba: tīra telpas iekārta ar pilnīgām funkcijām, pareiziem iestatījumiem un uzstādīšanu, ko var izmantot atbilstoši iestatījumiem vai tiek izmantoti, bet objektā nav operatoru.
Dinamiska tīra istaba: tīra istaba normāli lieto, ar pilnīgām servisa funkcijām, aprīkojumu un personālu; Ja nepieciešams, var veikt normālu darbu.
3. Vadības priekšmeti
(1). Var noņemt gaisā peldošās putekļu daļiņas.
(2). Var novērst putekļu daļiņu veidošanos.
(3). Temperatūras un mitruma kontrole.
(4). Spiediena regulēšana.
(5). Kaitīgu gāzu izvadīšana.
(6). Konstrukciju un nodalījumu stingrība ar gaisu.
(7). Statiskās elektrības novēršana.
(8). Elektromagnētisko traucējumu profilakse.
(9). Drošības faktoru apsvēršana.
(10). Enerģijas taupīšanas apsvēršana.
4. Klasifikācija
Turbulents plūsmas tips
Gaiss iekļūst tīrā telpā no gaisa kondicionēšanas kastes caur gaisa vadu un gaisa filtru (HEPA) tīrā telpā un tiek atgriezts no starpsienas sienas paneļiem vai paaugstinātas grīdas abās tīras telpas pusēs. Gaisa plūsma nepārvietojas lineāri, bet ir neregulārs turbulents vai virpuļveida stāvoklis. Šis tips ir piemērots 1000–100 000 tīras telpas klasei.
Definīcija: tīra telpa, kurā gaisa plūsma plūst ar nevienmērīgu ātrumu un nav paralēla, kam pievienota aizmugures plūsma vai virpuļprogramma.
Princips: Turbulentās tīras telpas paļaujas uz gaisa padeves gaisa plūsmu, lai nepārtraukti atšķaidītu iekštelpu gaisu un pakāpeniski atšķaidītu piesārņoto gaisu, lai sasniegtu tīrību (turbulentās tīras telpas parasti ir paredzētas tīrības līmenī virs 1000 līdz 300 000).
Funkcijas: Turbulentās tīrās istabas paļaujas uz vairākām ventilācijām, lai sasniegtu tīrības un tīrības līmeni. Ventilācijas izmaiņu skaits nosaka attīrīšanas līmeni definīcijā (jo vairāk ventilācijas mainās, jo augstāks tīrības līmenis)
(1) Pašpirāšanas laiks: attiecas uz laiku, kad tīrā telpa sāk piegādāt gaisu tīrai telpai atbilstoši paredzētajam ventilācijas numuram, un paredzams, ka putekļu koncentrācija telpā sasniedz paredzēto tīrības līmeni 1000 klase. Paredzams, ka aprēķināšanai var izmantot 20 minūtes (aprēķināšanai var izmantot 15 minūtes) 10 000 klasi (aprēķināšanai var izmantot 25 minūtes) 100 000 klase nav ilgāka par 40 minūtēm (30 minūtes var izmantot 30 minūtes aprēķins)
(2) Ventilācijas frekvence (paredzēta atbilstoši iepriekšminētajām pašattīrīšanās laika prasībām) 1000 klase: 43,5–55,3 reizes stundā (standarts: 50 reizes/stundā) 10 000 klase: 23.8-28,6 reizes/stundā (standarts: 25 reizes/stundā ) Klase 100 000: 14,4-19,2 reizes stundā (standarts: 15 reizes/stundā)
Priekšrocības: vienkārša struktūra, zemas sistēmas būvniecības izmaksas, viegli paplašināma tīra telpa, dažās īpašās vajadzības vietās, lai uzlabotu tīras telpas pakāpi, var izmantot tīru soliņu bez putekļiem.
Trūkumi: Turbulences izraisītās putekļu daļiņas peld iekštelpā, un tās ir grūti novadīt, kas var viegli piesārņot procesu produktus. Turklāt, ja sistēma tiek apturēta un pēc tam aktivizēta, nepieciešamās tīrības sasniegšanai bieži ir nepieciešams ilgs laiks.
Laminārā plūsma
Laminārā plūsmas gaiss pārvietojas vienveidīgā taisnā līnijā. Air ieiet telpā caur filtru ar 100% pārklājuma ātrumu un tiek atgriezts caur paaugstinātu grīdu vai starpsienas dēļiem abās pusēs. Šis tips ir piemērots lietošanai tīras telpas vidē ar augstākām tīras telpas atzīmēm, parasti 1. klasē ~ 100. Ir divi veidi:
(1) Horizontālā laminārā plūsma: no filtra vienā virzienā tiek izpūstas horizontālais gaiss un atgriežas gaisa sistēmā pretējā sienā. Putekļi tiek izvadīti ārā ar gaisa virzienu. Parasti piesārņojums ir nopietnāks pakārtotajā pusē.
Priekšrocības: vienkārša struktūra, īsā laikā pēc operācijas var kļūt stabila.
Trūkumi: celtniecības izmaksas ir augstākas nekā turbulenta plūsma, un telpas telpās nav viegli paplašināt.
(2) Vertikālā laminārā plūsma: Istabas griesti ir pilnībā pārklāti ar ULPA filtriem, un gaiss tiek izpūsts no augšas uz leju, kas var sasniegt augstāku tīrību. Procesa laikā vai personāla ģenerētus putekļus var ātri izvadīt ārpus telpām, neietekmējot citas darba zonas.
Priekšrocības: Viegli pārvaldāms, stabilu stāvokli var sasniegt īsā laikā pēc operācijas sākuma, un to nevar viegli ietekmēt darbības stāvoklis vai operatori.
Trūkumi: augstas būvniecības izmaksas, grūti elastīgi izmantot vietu, griestu pakaramie aizņem daudz vietas un satrauc, lai remontētu un nomainītu filtrus.
Saliktais tips
Kompozīta tips ir apvienot vai izmantot turbulentu plūsmas tipu un lamināro plūsmas tipu kopā, kas var nodrošināt vietējo ultra tīro gaisu.
(1) Tīrs tunelis: Izmantojiet HEPA vai ULPA filtrus, lai segtu 100% procesa zonas vai darba zonas, lai palielinātu tīrības līmeni līdz augstākajai 10. klasei, kas var ietaupīt uzstādīšanas un darbības izmaksas.
Šim tipam ir nepieciešams, lai operatora darba zona būtu izolēta no produkta un mašīnas uzturēšanas, lai izvairītos no darba un kvalitātes ietekmes uz mašīnas uzturēšanas laikā.
Tīriem tuneļiem ir vēl divas priekšrocības: A. viegli elastīgi paplašināties; B. Aprīkojuma apkopi var viegli veikt apkopes zonā.
(2) Tīra caurule: ieskauj un attīriet automātisko ražošanas līniju, caur kuru notiek produkta plūsma, un palieliniet tīrības līmeni līdz augstākajai 100. klasei. Tā kā produkts, operators un putekļi rada vidi, ir izolēts viens no otra, neliels daudzums daudzums Gaisa padeve var sasniegt labu tīrību, kas var ietaupīt enerģiju un ir vispiemērotākā automatizētām ražošanas līnijām, kurām nav nepieciešams manuāls darbs. Tas ir piemērojams farmācijas, pārtikas un pusvadītāju rūpniecībai.
(3) Tīrā vieta: produktu procesa zonas tīrības līmenis turbulentā tīrā telpā ar tīru telpas līmeni 10 000 ~ 100 000 tiek palielināts līdz 10 ~ 1000 vai vairāk ražošanas nolūkos; Šai kategorijai pieder tīras darba vietas, tīras nojumes, saliekamās tīras telpas un tīri skapji.
Tīrs soliņš: 1. klase ~ 100.
Tīrā kabīne: neliela telpa, ko ieskauj antistatic caurspīdīgs plastmasas audums turbulentā tīra telpā, izmantojot neatkarīgu HEPA vai ULPA un gaisa kondicionēšanas vienības, lai kļūtu par augstāka līmeņa tīru vietu ar līmeni 10 ~ 1000, apmēram augstums apmēram 2,5 metri un pārklājuma laukums ir aptuveni 10 m2 vai mazāks. Tam ir četri pīlāri, un tas ir aprīkots ar pārvietojamiem riteņiem elastīgai lietošanai.
5. gaisa plūsmas plūsma
Gaisa plūsmas nozīme
Tīras telpas tīrību bieži ietekmē gaisa plūsma. Citiem vārdiem sakot, cilvēku ģenerēto putekļu kustību un difūziju kontrolē gaisa plūsma.
Tīrā telpā gaisa filtrēšanai tiek izmantota HEPA un ULPA, un tās putekļu savākšanas ātrums ir pat 99,97 ~ 99,99995%, tāpēc šī filtra filtrētais gaiss var būt ļoti tīrs. Tomēr papildus cilvēkiem tīrā telpā ir arī putekļu avoti, piemēram, mašīnas. Kad šie ģenerētie putekļi izplatās, nav iespējams uzturēt tīru vietu, tāpēc gaisa plūsma jāizmanto, lai ātri novadītu radītos putekļus ārpus telpām.
Ietekmējošie faktori
Ir daudz faktoru, kas ietekmē tīras telpas gaisa plūsmu, piemēram, procesa aprīkojumu, personālu, tīras telpas montāžas materiālus, apgaismojuma armatūru utt. Tajā pašā laikā jāņem arī gaisa plūsmas novirzīšanas punkts virs ražošanas aprīkojuma apsvērums.
Gaisa plūsmas novirzīšanas punkts uz vispārējā darbības galda vai ražošanas aprīkojuma virsmas jānosaka 2/3 attālumā starp tīru telpu un nodalījuma dēli. Tādā veidā, kad operators strādā, gaisa plūsma var plūst no procesa zonas iekšpuses uz operācijas zonu un noņemt putekļus; Ja novirzīšanas punkts ir konfigurēts procesa zonas priekšā, tas kļūs par nepareizu gaisa plūsmas novirzīšanu. Šajā laikā lielākā daļa gaisa plūsmas plūdīs uz procesa zonas aizmuguri, un operatora operācijas izraisītie putekļi tiks nogādāti aprīkojuma aizmugurē, un darbagalds tiks piesārņots, un raža neizbēgami samazināsies.
Šķēršļiem, piemēram, darba galdiem tīrās telpās, krustojumā būs virpuļvīri, un tīrība netālu no tām būs salīdzinoši slikta. Atgriešanās gaisa cauruma urbšana uz darba galda samazinās virpuļa strāvas parādību; Tas, vai montāžas materiālu izvēle ir piemērota un vai aprīkojuma izkārtojums ir ideāls, ir arī svarīgi faktori, vai gaisa plūsma kļūst par virpuļa pašreizējo parādību.
6. Tīras telpas sastāvs
Tīras telpas sastāvs sastāv no šādām sistēmām (no kurām neviena nav nepieciešama sistēmas molekulās), pretējā gadījumā nebūs iespējams veidot pilnīgu un augstas kvalitātes tīru telpu:
(1) Griestu sistēma: ieskaitot griestu stieni, I-staru vai U-staru, griestu režģi vai griestu rāmi.
(2) Gaisa kondicionēšanas sistēma: ieskaitot gaisa salonu, filtru sistēmu, vējdzirnavas utt.
(3) Nodalījuma siena: ieskaitot logus un durvis.
(4) Grīda: ieskaitot paaugstinātu grīdu vai antistatisko grīdu.
(5) Apgaismojuma armatūra: LED attīrīšanas plakanā lampa.
Tīrās telpas galvenā struktūra parasti ir izgatavota no tērauda stieņiem vai kaulu cementa, taču neatkarīgi no tā, kāda veida struktūra tā ir, tai jāatbilst šādiem nosacījumiem:
A. Temperatūras izmaiņu un vibrāciju dēļ plaisas nenotiks;
B. nav viegli ražot putekļu daļiņas, un daļiņas ir grūti piestiprināt;
C. Zema higroskopitāte;
D. Lai uzturētu mitruma apstākļus tīrā telpā, siltumizolācijai jābūt augstai;
7. Klasifikācija, lietojot
Rūpnieciskā tīra istaba
Nedzīvo daļiņu kontrole ir objekts. Tas galvenokārt kontrolē gaisa putekļu daļiņu piesārņojumu pret darba objektu, un iekšpuse parasti uztur pozitīva spiediena stāvokli. Tas ir piemērots precizitātes mašīnu rūpniecībai, elektronikas rūpniecībai (pusvadītājiem, integrētām shēmām utt.), Aviācijas un kosmosa rūpniecībai, augstas tīrības ķīmiskajai rūpniecībai, atomenerģijas rūpniecībai, optisko un magnētisko produktu rūpniecībai (CD, plēves, lentu ražošana) LCD (Liquid Crystal stikls), datora cietais disks, datora galvas ražošana un citas nozares.
Bioloģiskā tīra istaba
Galvenokārt kontrolē dzīvu daļiņu (baktēriju) un nedzīvu daļiņu (putekļu) piesārņojumu darba objektam. To var iedalīt;
A. Vispārīga bioloģiskā tīra telpa: galvenokārt kontrolē mikrobu (baktēriju) priekšmetu piesārņojumu. Tajā pašā laikā tā iekšējiem materiāliem jāspēj izturēt dažādu sterilizējošo līdzekļu eroziju, un iekšpuse parasti garantē pozitīvu spiedienu. Būtībā iekšējiem materiāliem jāspēj izturēt dažādas rūpnieciskas tīras telpas sterilizācijas procedūras. Piemēri: farmaceitiskā rūpniecība, slimnīcas (operāciju zāles, sterilās palātas), pārtika, kosmētika, dzērienu produktu ražošana, dzīvnieku laboratorijas, fizikālās un ķīmiskās pārbaudes laboratorijas, asins stacijas utt.
B. Bioloģiskā drošības tīra telpa: galvenokārt kontrolē darba objekta dzīvu daļiņu piesārņojumu uz ārpasauli un cilvēkiem. Iekšējais spiediens jāsaglabā negatīvs ar atmosfēru. Piemēri: bakterioloģija, bioloģija, tīras laboratorijas, fiziskā inženierija (rekombinantie gēni, vakcīnu sagatavošana)
Pasta laiks: 07.-2025. Februāris