Papildus stingrai daļiņu kontrolei elektronisko tīrtelpu darbnīcās, ko pārstāv mikroshēmu ražošanas darbnīcas, integrēto shēmu putekļu nesaturošas darbnīcas un disku ražošanas darbnīcas, ir arī stingrākas prasības temperatūras un mitruma kontrolei, apgaismojumam un mikrošokam. Stingri jānovērš statiskās elektrības ietekme uz ražošanas produktiem, lai vide varētu atbilst elektronisko produktu ražošanas procesa prasībām tīrā vidē.
Elektroniskās tīrtelpas temperatūra un mitrums jānosaka atbilstoši ražošanas procesa prasībām. Ja ražošanas procesam nav īpašu prasību, temperatūrai jābūt 20–26 °C, bet relatīvajam mitrumam – 30–70 %. Personāla tīrtelpas un dzīvojamās istabas temperatūrai jābūt 16–28 °C. Saskaņā ar Ķīnas nacionālo standartu GB-50073, kas atbilst starptautiskajiem ISO standartiem, šāda veida tīrtelpas tīrības līmenis ir 1–9. 1.–5. klasei gaisa plūsmas modelis ir vienvirziena vai jaukta plūsma; 6. klases gaisa plūsmas modelis ir nevienvirziena plūsma, un gaisa apmaiņa ir 50–60 reizes/h; 7. klases gaisa plūsmas veids ir nevienvirziena plūsma, un gaisa apmaiņa ir 15–25 reizes/h; 8.–9. klases gaisa plūsmas veids ir nevienvirziena plūsma, un gaisa apmaiņa ir 10–15 reizes/h.
Saskaņā ar pašreizējām specifikācijām trokšņa līmenis 10 000 klases elektroniskās tīrtelpā nedrīkst pārsniegt 65 dB(A).
1. Vertikālās plūsmas tīrās telpas pilnai attiecībai elektroniskajā tīrajā telpā nevajadzētu būt mazākai par 60%, un horizontālajai vienvirziena plūsmas tīrajai telpai nevajadzētu būt mazākai par 40%, pretējā gadījumā tā būs daļēja vienvirziena plūsma.
2. Statiskā spiediena starpībai starp elektronisko tīrtelpu un ārpus telpu nevajadzētu būt mazākai par 10 Pa, un statiskā spiediena starpībai starp tīrām un netīrām zonām ar atšķirīgu gaisa tīrību nevajadzētu būt mazākai par 5 Pa.
3. Svaiga gaisa daudzumam 10000. klases elektroniskās tīrtelpā jābūt šādu divu vienību vērtībai.
4. Kompensējiet iekštelpu izplūdes gaisa tilpuma un svaigā gaisa tilpuma summu, kas nepieciešama, lai uzturētu iekštelpu pozitīvā spiediena vērtību.
5. Nodrošiniet, lai tīrā telpā pievadītā svaigā gaisa daudzums uz vienu personu stundā nebūtu mazāks par 40 kvadrātmetriem.
Publicēšanas laiks: 2024. gada 8. aprīlis