AUGSTAS TĪRĪBAS LĪMEŅA ČIPU TĪRTELPAS VISPĀRĒJĀS RAKSTUROJUMS

1. Dizaina raksturlielumi

Mikroshēmu produktu funkcionalizācijas, miniaturizācijas, integrācijas un precizitātes prasību dēļ mikroshēmu tīrtelpas projektēšanas prasības ražošanai un ražošanai ievērojami atšķiras no vispārējo rūpnīcu prasībām.

(1) Tīrības prasības: mikroshēmu ražošanas videi ir augstas gaisa daļiņu skaita kontroles prasības;

(2) Hermētiskuma prasības: samazināt konstrukcijas spraugas un stiprināt spraugu konstrukciju hermētiskumu, lai līdz minimumam samazinātu gaisa noplūdes vai piesārņojuma ietekmi;

(3) Rūpnīcas sistēmas prasības: īpašas jaudas un elektromehāniskās sistēmas atbilst procesu iekārtu, piemēram, īpašu gāzu, ķīmisko vielu, tīru notekūdeņu u. c., vajadzībām;

(4) Prasības pret mikrovibrācijām: mikroshēmu apstrādei nepieciešama augsta precizitāte, un ir jāsamazina vibrācijas ietekme uz iekārtām;

(5) Telpas prasības: Rūpnīcas plānojums ir vienkāršs, ar skaidru funkcionālo sadalījumu, slēptiem cauruļvadiem un saprātīgu telpas sadalījumu, kas nodrošina elastību, atjauninot ražošanas procesus un iekārtas.

2. Būvniecības fokuss

(1). Stingrāks būvniecības periods. Saskaņā ar Mūra likumu mikroshēmu integrācijas blīvums divkāršosies vidēji ik pēc 18 līdz 24 mēnešiem. Līdz ar elektronisko produktu atjaunināšanu un iterāciju tiks atjaunināts arī pieprasījums pēc ražošanas iekārtām. Elektronisko produktu straujās atjaunināšanas dēļ elektronisko tīro iekārtu faktiskais kalpošanas laiks ir tikai 10 līdz 15 gadi.

(2). Augstākas resursu organizācijas prasības. Elektroniskajām tīrtelpām parasti ir liels būvniecības apjoms, saspringts būvniecības periods, cieši savstarpēji saistīti procesi, sarežģīta resursu aprite un koncentrētāks galveno materiālu patēriņš. Šāda saspringta resursu organizācija rada lielu spiedienu uz kopējo plāna pārvaldību un augstas resursu organizācijas prasības. Pamatu un galvenajā posmā tas galvenokārt atspoguļojas darbaspēkā, tērauda stieņos, betonā, karkasa materiālos, celšanas mašīnās utt.; Elektromehāniskajā, apdares un iekārtu uzstādīšanas posmā tas galvenokārt atspoguļojas objekta prasībās, dažādās caurulēs un palīgmateriālos celtniecības mašīnām, speciālajā aprīkojumā utt.

(3). Augstas būvniecības kvalitātes prasības galvenokārt atspoguļojas trīs aspektos: līdzenumā, hermētiskumā un konstrukcijā ar zemu putekļu līmeni. Papildus precīzijas iekārtu aizsardzībai pret vides bojājumiem, ārējām vibrācijām un vides rezonansi, tikpat svarīga ir arī pašas iekārtas stabilitāte. Tāpēc grīdas līdzenuma prasība ir 2 mm/2 m. Hermētiskuma nodrošināšanai ir būtiska loma spiediena atšķirību uzturēšanā starp dažādām tīrām zonām un tādējādi piesārņojuma avotu kontrolēšanā. Pirms gaisa filtrācijas un kondicionēšanas iekārtu uzstādīšanas stingri kontrolējiet tīrās telpas tīrīšanu, kā arī kontrolējiet putekļu piesārņojumam pakļautās saites būvniecības sagatavošanas un būvniecības laikā pēc uzstādīšanas.

(4) Augstas prasības apakšuzņēmēju pārvaldībai un koordinācijai. Elektronisko tīrtelpu būvniecības process ir sarežģīts, ļoti specializēts, ietver daudzus īpašus apakšuzņēmējus un plašu savstarpēju sadarbību starp dažādām disciplīnām. Tāpēc ir nepieciešams koordinēt katras disciplīnas procesus un darba virsmas, samazināt savstarpējo sadarbību, aptvert faktiskās saskarnes nodošanas vajadzības starp disciplīnām un veikt labu darbu ģenerāluzņēmēja koordinācijā un vadībā.