CHIP ražas ātrums IC ražošanas nozarē ir cieši saistīts ar mikroshēmas nogulsnēto gaisa daļiņu lielumu un skaitu. Laba gaisa plūsmas organizācija var aizvest daļiņas, ko rada putekļu avots no tīras telpas, lai nodrošinātu tīras telpas tīrību, tas ir, gaisa plūsmas organizācijai tīrā telpā ir būtiska loma IC ražošanas ražošanas ātrumā. Gaisa plūsmas organizācijas projektēšanai tīrā telpā ir jāsasniedz šādi mērķi: jāsamazina vai jānovērš virpuļu strāva plūsmas laukā, lai izvairītos no kaitīgu daļiņu aiztures; Uzturiet atbilstošu pozitīva spiediena gradientu, lai novērstu savstarpējo piesārņojumu.
Gaisa plūsmas spēks
Saskaņā ar tīras telpas principu spēki, kas uz daļiņām darbojas, ietver masas spēku, molekulāro spēku, daļiņu pievilcību, gaisa plūsmas spēku utt.
Gaisa plūsmas spēks: attiecas uz gaisa plūsmas spēku, ko izraisa piegāde, atgriešanās gaisa plūsma, termiskā konvekcijas gaisa plūsma, mākslīga maisīšana un citas gaisa plūsmas ar noteiktu plūsmas ātrumu, lai pārvadātu daļiņas. Tīras telpas vides tehniskajai kontrolei ir vissvarīgākais faktors, kas ir gaisa plūsmas spēks.
Eksperimenti parādīja, ka gaisa plūsmas kustībā daļiņas seko gaisa plūsmas kustībai gandrīz tādā pašā ātrumā. Daļiņu stāvokli gaisā nosaka gaisa plūsmas sadalījums. Gaisa plūsmas, kas ietekmē iekštelpu daļiņas, galvenokārt ietver: gaisa padeves gaisa plūsmu (ieskaitot primāro gaisa plūsmu un sekundāro gaisa plūsmu), gaisa plūsmu un termisko konvekcijas gaisa plūsmu, ko izraisa cilvēki, kas staigā, un gaisa plūsma, ko izraisa procesa darbība un rūpniecības aprīkojums. Dažādas gaisa piegādes metodes, ātruma saskarnes, operatori un rūpnieciskā aprīkojums, kā arī izraisītas parādības tīrās telpās ir visi faktori, kas ietekmē tīrības līmeni.
Faktori, kas ietekmē gaisa plūsmas organizāciju
1. Gaisa piegādes metodes ietekme
(1). Gaisa padeves ātrums
Lai nodrošinātu vienotu gaisa plūsmu, gaisa padeves ātrumam jābūt vienamējam vienvirziena tīrā telpā; Gaisa padeves virsmas mirušajai zonai jābūt mazai; un spiediena kritumam ULPA jābūt arī vienveidīgam.
Vienots gaisa padeves ātrums: tas ir, gaisa plūsmas nevienmērīgums tiek kontrolēts ± 20%robežās.
Mazāk mirušas zonas uz gaisa padeves virsmas: ULPA rāmja plaknes laukums ne tikai jāsamazina, bet vēl svarīgāk ir jāpieņem modulārs FFU, lai vienkāršotu lieko rāmi.
Lai nodrošinātu vertikālu vienvirziena gaisa plūsmu, ļoti svarīga ir arī filtra spiediena samazināšanās izvēle, kas prasa, lai spiediena zudums filtrā nevarētu novirzīties.
(2). FFU sistēmas un aksiālās plūsmas ventilatora sistēmas salīdzinājums
FFU ir gaisa padeves bloks ar ventilatoru un filtru (ULPA). Pēc tam, kad gaisu iesūc FFU centrbēdzes ventilators, dinamiskais spiediens tiek pārveidots par statisku spiedienu gaisa vadā un vienmērīgi izpūst ULPA. Gaisa padeves spiediens uz griestiem ir negatīvs spiediens, tāpēc, kad filtrs tiek nomainīts, tīrā telpā neizplūdīs putekļi. Eksperimenti parādīja, ka FFU sistēma ir pārāka par aksiālās plūsmas ventilatora sistēmu gaisa izejas vienveidības, gaisa plūsmas paralēlisma un ventilācijas efektivitātes indeksā. Tas notiek tāpēc, ka FFU sistēmas gaisa plūsma ir labāka. FFU sistēmas izmantošana var padarīt gaisa plūsmu tīrā telpā labāk organizētā.
(3). Paša FFU struktūras ietekme
FFU galvenokārt sastāv no ventilatoriem, filtriem, gaisa plūsmas ceļvežu ierīcēm un citām sastāvdaļām. Īpaši augstas efektivitātes filtrs ULPA ir vissvarīgākā garantija, vai tīrā telpa var sasniegt nepieciešamo dizaina tīrību. Filtra materiāls ietekmēs arī plūsmas lauka vienveidību. Kad filtra kontaktligzdai pievieno rupju filtra materiālu vai lamināro plūsmas plāksni, izejas plūsmas lauku var viegli izgatavot vienveidīgu.
2. Dažādu tīrības ātruma saskarņu ietekme
Tajā pašā tīrā telpā starp vertikālās vienvirziena plūsmas darba zonu un nestrādājošo laukumu, pateicoties gaisa ātruma atšķirībai ULPA izejā, saskarnē tiks ģenerēts jaukts virpuļveida efekts, un šī saskarne kļūs par turbulentu Gaisa plūsmas zona ar īpaši lielu gaisa turbulences intensitāti. Daļiņas var pārraidīt uz aprīkojuma virsmu un piesārņot aprīkojumu un vafeles.
3. Personāla un aprīkojuma ietekme
Kad tīra istaba ir tukša, telpā esošās gaisa plūsmas īpašības parasti atbilst projektēšanas prasībām. Kad aprīkojums nonāk tīrā telpā, personāla pārvietošanās un produkti tiek pārsūtīti, neizbēgami būs šķēršļi gaisa plūsmas organizācijai. Piemēram, pie izvirzītajiem aprīkojuma stūriem vai malām gāze tiks novirzīta, veidojot turbulentu zonu, un šķidrumu zonā gāze nav viegli aizvesta, tādējādi izraisot piesārņojumu. Tajā pašā laikā aprīkojuma virsma sildīsies nepārtrauktas darbības dēļ, un temperatūras gradients radīs atstarošanas zonu netālu no mašīnas, kas palielinās daļiņu uzkrāšanos atstarošanas zonā. Tajā pašā laikā augstā temperatūra viegli izraisīs daļiņu izkļūšanu. Divkāršais efekts saasina grūtības kontrolēt vispārējo vertikālo lamināro tīrību. Putekļus no operatoriem tīrā telpā ir ļoti viegli ievērot vafeles šajās atstarpes zonās.
4. Atgriešanās gaisa grīdas ietekme
Ja atgriešanās gaisa pretestība, kas iet caur grīdu, ir atšķirīga, tiks radīta spiediena starpība, lai gaiss plūst mazāk pretestības virzienā, un vienmērīga gaisa plūsma netiks iegūta. Pašreizējā populārā dizaina metode ir paaugstinātu stāvu izmantošana. Ja paaugstinātas grīdas atvēršanas ātrums ir 10%, gaisa plūsmas ātrumu telpas darba augstumā var vienmērīgi sadalīt. Turklāt stingra uzmanība jāpievērš tīrīšanas darbiem, lai samazinātu grīdas piesārņojuma avotu.
5. Indukcijas parādība
The so-called induction phenomenon refers to the phenomenon that the airflow in the opposite direction of the uniform flow is generated, and the dust generated in the room or the dust in the adjacent contaminated area is induced to the upwind side, so that the dust var piesārņot mikroshēmu. Šīs ir iespējamās indukcijas parādības:
(1). Akls plāksne
Tīrā telpā ar vertikālu vienvirziena plūsmu sienas locītavu dēļ parasti ir lielas aklu plāksnes, kas vietējā atgriešanās plūsmā radīs turbulenci.
(2). Lampas
Apgaismojuma armatūrai tīrā telpā būs lielāka ietekme. Tā kā dienasgaismas lukturu siltums izraisa gaisa plūsmas celšanos, zem dienasgaismas spuldzēm nebūs turbulenta laukuma. Parasti lampas tīrā telpā ir veidotas asaras formā, lai samazinātu lukturu ietekmi uz gaisa plūsmas organizāciju.
(3.) spraugas starp sienām
Ja ir nepilnības starp nodalījumiem ar atšķirīgu tīrības līmeni vai starp nodalījumiem un griestiem, putekļus no teritorijas ar zemām tīrības prasībām var pārnest uz blakus esošo zonu ar augstām tīrības prasībām.
(4). Attālums starp mašīnu un grīdu vai sienu
Ja sprauga starp mašīnu un grīdu vai sienu ir ļoti maza, tā izraisīs atsitiena turbulenci. Tāpēc atstājiet spraugu starp aprīkojumu un sienu un paceliet mašīnu, lai neļautu mašīnai tieši pieskarties zemei.
Pasta laiks: 20.-2025. Februāris