Mikroshēmas raža mikroshēmu ražošanas nozarē ir cieši saistīta ar mikroshēmas nogulsnēto gaisa daļiņu lielumu un skaitu. Laba gaisa plūsmas organizācija var ņemt daļiņas, kas rodas no putekļu avotiem no tīras telpas un nodrošināt tīras telpas tīrību. Tas ir, gaisa plūsmas organizācijai tīras telpā ir būtiska loma mikroshēmu ražošanas ražošanā. Mērķi, kas jāsasniedz tīras telpas gaisa plūsmas organizācijas projektēšanā, ir šādi: samazināt vai novērst virpuļplūsmas straumes plūsmas laukā, lai izvairītos no kaitīgu daļiņu aiztures; Lai saglabātu atbilstošu pozitīva spiediena gradientu, lai novērstu savstarpējo piesārņošanu.
Saskaņā ar tīras telpas principu spēki, kas uz daļiņām darbojas, ietver masas spēku, molekulāro spēku, atrakciju starp daļiņām, gaisa plūsmas spēku utt.
Gaisa plūsmas spēks: attiecas uz gaisa plūsmas spēku, ko izraisa piegāde un atgriešanās gaisa plūsma, termiskā konvekcijas gaisa plūsma, mākslīgā uzbudinājums un citas gaisa plūsmas ar noteiktu plūsmas ātrumu, lai pārvadātu daļiņas. Tīras telpas vides tehnoloģiju kontrolei vissvarīgākais faktors ir gaisa plūsmas spēks.
Eksperimenti parādīja, ka gaisa plūsmas kustībā daļiņas seko gaisa plūsmai gandrīz tieši tādā pašā ātrumā. Daļiņu stāvokli gaisā nosaka gaisa plūsmas sadalījums. Gaisa plūsmas galvenā ietekme uz iekštelpu daļiņām ir: gaisa padeves gaisa plūsma (ieskaitot primāro gaisa plūsmu un sekundāro gaisa plūsmu), gaisa plūsma un termiskā konvekcijas gaisa plūsma, ko izraisa cilvēki, kas staigā, un gaisa plūsmas ietekme uz daļiņām, ko izraisa procesu operācijas un rūpniecības aprīkojums. Dažādas gaisa padeves metodes, ātruma saskarnes, operatori un rūpnieciskais aprīkojums, izraisītas parādības utt. Tīrās telpās ir visi faktori, kas ietekmē tīrības līmeni.
1. Gaisa piegādes metodes ietekme
(1) Gaisa padeves ātrums
Lai nodrošinātu vienotu gaisa plūsmu, gaisa padeves ātrumam vienvirziena plūsmas tīrā telpā jābūt vienveidīgam; Mirušajai zonai uz gaisa padeves virsmas jābūt mazai; un spiediena kritumam HEPA filtrā jābūt arī vienveidīgam.
Gaisa padeves ātrums ir vienāds: tas ir, gaisa plūsmas nevienmērīgums tiek kontrolēts ± 20%robežās.
Uz gaisa padeves virsmas ir mazāk mirušas vietas: HEPA rāmja plaknes laukumu ne tikai jāsamazina, bet vēl svarīgāk ir tas, ka liekā rāmja vienkāršošanai jāizmanto modulārs FFU.
Lai nodrošinātu, ka gaisa plūsma ir vertikāla un vienvirziena, arī filtra spiediena krituma atlase ir ļoti svarīga, un ir nepieciešams, lai spiediena zudums filtrā nevarētu būt neobjektīvs.
(2) FFU sistēmas un aksiālās plūsmas ventilatora sistēmas salīdzinājums
FFU ir gaisa padeves vienība ar ventilatoru un HEPA filtru. Gaisu iesūc FFU centrbēdzes ventilators un dinamisko spiedienu pārvērš statiskajā spiedienā gaisa vadā. To vienmērīgi izpūst HEPA filtrs. Gaisa padeves spiediens uz griestiem ir negatīvs spiediens. Tādā veidā, aizstājot filtru, netiks noplūdis tīrā telpā. Eksperimenti parādīja, ka FFU sistēma ir pārāka par aksiālās plūsmas ventilatora sistēmu gaisa izejas vienveidības, gaisa plūsmas paralēlisma un ventilācijas efektivitātes indeksa ziņā. Tas notiek tāpēc, ka FFU sistēmas gaisa plūsma ir labāka. FFU sistēmas izmantošana var uzlabot gaisa plūsmas organizāciju tīrā telpā.
(3) FFU paša struktūras ietekme
FFU galvenokārt sastāv no ventilatoriem, filtriem, gaisa plūsmas ceļvežiem un citām sastāvdaļām. HEPA filtrs ir vissvarīgākā garantija tīrai telpai, lai sasniegtu nepieciešamo tīrību, kas nepieciešama dizainā. Filtra materiāls ietekmēs arī plūsmas lauka vienveidību. Kad filtra kontaktligzdai pievieno aptuvenu filtra materiālu vai plūsmas plāksni, izplūdes plūsmas lauku var viegli izgatavot vienmērīgs.
2. Ātruma saskarnes ietekme ar atšķirīgu tīrību
Tajā pašā tīrā telpā starp darba zonu un nestrādājošo zonu ar vertikālu vienvirziena plūsmu, ņemot vērā gaisa ātruma atšķirību HEPA kastē, saskarnē notiks jaukts virpuļveida efekts, un šī saskarne kļūs par turbulentu gaisa plūsmas zona. Gaisa turbulences intensitāte ir īpaši spēcīga, un daļiņas var pārraidīt uz aprīkojuma mašīnas virsmu un piesārņot aprīkojumu un vafeles.
3. Ietekme uz personālu un aprīkojumu
Kad tīra istaba ir tukša, gaisa plūsmas īpašības telpā parasti atbilst projektēšanas prasībām. Kad aprīkojums nonāk tīrā telpā, cilvēki pārvietojas un tiek transportēti produkti, gaisa plūsmas organizācijai neizbēgami ir šķēršļi, piemēram, asi punkti, kas izvirzīti no aprīkojuma mašīnas. Stūros vai malās gāze novirzīsies, lai veidotu turbulentu plūsmas laukumu, un šķidrumu šajā apgabalā nenosauks ar ienākošo gāzi, tādējādi izraisot piesārņojumu.
Tajā pašā laikā mehāniskās iekārtas virsma tiks uzkarsēta nepārtrauktas darbības dēļ, un temperatūras gradients izraisīs atstarpes laukumu netālu no mašīnas, kas palielina daļiņu uzkrāšanos atstarošanas zonā. Tajā pašā laikā augstā temperatūra viegli izraisīs daļiņu izkļūšanu. Divkāršais efekts pastiprina kopējo vertikālo slāni. Grūtības kontrolēt straumes tīrību. Putekļi no operatoriem tīrā telpā var viegli ievērot vafeles šajās pārvadāšanas vietās.
4. Atgriešanās gaisa grīdas ietekme
Ja atgriešanās gaisa pretestība, kas iet caur grīdu, ir atšķirīga, rodas spiediena starpība, izraisot gaisu nelielas pretestības virzienā, un vienmērīga gaisa plūsma netiks iegūta. Pašreizējā populārā dizaina metode ir paaugstinātas grīdas izmantošana. Ja paaugstinātās grīdas atveres attiecība ir 10%, gaisa plūsmas ātrumu var vienmērīgi sadalīt iekštelpu darba augstumā. Turklāt stingra uzmanība jāpievērš tīrīšanas darbiem, lai samazinātu piesārņojuma avotu uz grīdas.
5. Indukcijas parādība
Tā sauktā indukcijas parādība norāda uz parādību, kas rodas gaisa plūsmā pretējā virzienā uz vienmērīgu plūsmu, izraisot telpā radītus putekļus vai putekļus blakus esošajās piesārņotajās vietās uz pretvēja pusi, tādējādi izraisot putekļu piesārņojumu vafeļu. Iespējamās izraisītās parādības ir šādas:
(1) Aklā plāksne
Tīrā telpā ar vertikālu vienvirziena plūsmu, ņemot vērā savienojumus pie sienas, parasti ir lieli aklie paneļi, kas radīs turbulentu plūsmu un vietējo muguras plūsmu.
(2) Lampas
Apgaismojuma armatūra tīrā telpā būs lielāka ietekme. Tā kā dienasgaismas spuldzes siltums izraisa gaisa plūsmas celšanos, dienasgaismas spuldzes lukturis nekļūs par turbulentu zonu. Parasti lampas tīrā telpā ir veidotas asaras formā, lai samazinātu lukturu ietekmi uz gaisa plūsmas organizāciju.
(3) spraugas starp sienām
Ja ir spraugas starp nodalījumu sienām vai griestiem ar dažādām tīrības prasībām, putekļus no vietām ar zemām tīrības prasībām var pārnest uz blakus esošajām vietām ar augstām tīrības prasībām.
(4) Attālums starp mehānisko aprīkojumu un grīdu vai sienu
Ja sprauga starp mehānisko aprīkojumu un grīdu vai sienu ir maza, notiks atsitiena turbulence. Tāpēc atstājiet spraugu starp aprīkojumu un sienu un paceliet mašīnas platformu, lai izvairītos no tieša saskares ar zemi.
Pasta laiks: NOV-02-233