Šķeldas iznākums skaidu ražošanas nozarē ir cieši saistīts ar mikroshēmā nogulsnēto gaisa daļiņu izmēru un skaitu. Laba gaisa plūsmas organizācija var aizvest daļiņas, kas rodas no putekļu avotiem, prom no tīras telpas un nodrošināt tīras telpas tīrību. Tas nozīmē, ka gaisa plūsmas organizācijai tīrā telpā ir būtiska loma skaidu ražošanas ienesīgumā. Tīras telpas gaisa plūsmas organizācijas projektēšanā sasniedzamie mērķi ir: samazināt vai likvidēt virpuļstrāvas plūsmas laukā, lai izvairītos no kaitīgo daļiņu aiztures; uzturēt atbilstošu pozitīva spiediena gradientu, lai novērstu savstarpēju piesārņojumu.
Saskaņā ar tīrās telpas principu spēki, kas iedarbojas uz daļiņām, ietver masas spēku, molekulāro spēku, pievilkšanos starp daļiņām, gaisa plūsmas spēku utt.
Gaisa plūsmas spēks: attiecas uz gaisa plūsmas spēku, ko izraisa pieplūdes un atgaitas gaisa plūsma, termiskās konvekcijas gaisa plūsma, mākslīgais maisījums un citas gaisa plūsmas ar noteiktu plūsmas ātrumu daļiņu pārvadāšanai. Tīras telpas vides tehnoloģiju kontrolei gaisa plūsmas spēks ir vissvarīgākais faktors.
Eksperimenti ir parādījuši, ka gaisa plūsmas kustībā daļiņas seko gaisa plūsmai gandrīz tieši tādā pašā ātrumā. Daļiņu stāvokli gaisā nosaka gaisa plūsmas sadalījums. Galvenā gaisa plūsmas ietekme uz iekštelpu daļiņām ir: gaisa padeves gaisa plūsma (tostarp primārā gaisa plūsma un sekundārā gaisa plūsma), gaisa plūsma un termiskās konvekcijas gaisa plūsma, ko izraisa cilvēku staigāšana, un gaisa plūsmas ietekme uz daļiņām, ko izraisa procesa darbības un rūpnieciskās iekārtas. Tīrības līmeni ietekmē dažādi gaisa padeves paņēmieni, ātruma saskarnes, operatori un rūpnieciskās iekārtas, izraisītas parādības utt. tīrības telpās.
1. Gaisa padeves metodes ietekme
(1) Gaisa padeves ātrums
Lai nodrošinātu vienmērīgu gaisa plūsmu, gaisa padeves ātrumam vienvirziena plūsmas tīrajā telpā jābūt vienmērīgam; mirušajai zonai uz gaisa padeves virsmas jābūt mazai; un spiediena kritumam hepa filtrā arī jābūt vienmērīgam.
Gaisa padeves ātrums ir vienmērīgs: tas ir, gaisa plūsmas nevienmērīgums tiek kontrolēts ±20% robežās.
Gaisa padeves virsmā ir mazāk tukšas vietas: ne tikai jāsamazina hepa rāmja plaknes laukums, bet vēl svarīgāk ir jāizmanto modulārais FFU, lai vienkāršotu lieko rāmi.
Lai nodrošinātu, ka gaisa plūsma ir vertikāla un vienvirziena, ļoti svarīga ir arī filtra spiediena krituma izvēle, kā arī ir nepieciešams, lai spiediena zudumi filtrā nevarētu tikt novirzīti.
(2) FFU sistēmas un aksiālās plūsmas ventilatora sistēmas salīdzinājums
FFU ir gaisa padeves iekārta ar ventilatoru un hepa filtru. Gaisu iesūc FFU centrbēdzes ventilators, un tas pārvērš dinamisko spiedienu statiskā spiedienā gaisa kanālā. To vienmērīgi izpūš hepa filtrs. Gaisa padeves spiediens uz griestiem ir negatīvs spiediens. Tādā veidā putekļi nenokļūs tīrā telpā, nomainot filtru. Eksperimenti ir parādījuši, ka FFU sistēma ir pārāka par aksiālās plūsmas ventilatoru sistēmu gaisa izplūdes vienmērīguma, gaisa plūsmas paralēlisma un ventilācijas efektivitātes indeksa ziņā. Tas ir tāpēc, ka FFU sistēmas gaisa plūsmas paralēlisms ir labāks. FFU sistēmas izmantošana var uzlabot gaisa plūsmas organizāciju tīrā telpā.
(3) FFU pašas struktūras ietekme
FFU galvenokārt sastāv no ventilatoriem, filtriem, gaisa plūsmas vadotnēm un citām sastāvdaļām. Hepa filtrs ir vissvarīgākā garantija tīrām telpām, lai sasniegtu nepieciešamo tīrību, ko pieprasa dizains. Filtra materiāls ietekmēs arī plūsmas lauka vienmērīgumu. Ja filtra izvadam pievieno raupju filtra materiālu vai plūsmas plāksni, izplūdes plūsmas lauku var viegli padarīt vienādu.
2. Ātruma saskarnes ietekme ar dažādu tīrību
Tajā pašā tīrajā telpā starp darba zonu un nedarba zonu ar vertikālu vienvirziena plūsmu gaisa ātruma atšķirības dēļ hepa kastē saskarnē radīsies jaukta virpuļa efekts, un šī saskarne kļūs par vētrainu. gaisa plūsmas zona. Gaisa turbulences intensitāte ir īpaši spēcīga, un daļiņas var tikt pārnestas uz iekārtas iekārtas virsmu un piesārņot aprīkojumu un vafeles.
3. Ietekme uz personālu un aprīkojumu
Kad tīrā telpa ir tukša, gaisa plūsmas raksturlielumi telpā parasti atbilst projektēšanas prasībām. Kad aprīkojums nonāk tīrā telpā, cilvēki pārvietojas un produkti tiek transportēti, gaisa plūsmas organizācijai neizbēgami rodas šķēršļi, piemēram, asi punkti, kas izvirzīti no iekārtas mašīnas. Stūros vai malās gāze novirzīsies, veidojot turbulentu plūsmas zonu, un ieplūstošā gāze nevarēs viegli aiznest šķidrumu šajā zonā, tādējādi radot piesārņojumu.
Tajā pašā laikā nepārtrauktas darbības dēļ mehāniskās iekārtas virsma tiks uzkarsēta, un temperatūras gradients izraisīs atkārtotas plūsmas zonu pie iekārtas, kas palielina daļiņu uzkrāšanos pārplūdes zonā. Tajā pašā laikā augstā temperatūra viegli izraisīs daļiņu izplūšanu. Duālais efekts pastiprina kopējo vertikālo slāni. Grūtības kontrolēt straumes tīrību. Putekļi no operatoriem tīrā telpā var viegli pielipt pie plāksnītēm šajās pārplūdes zonās.
4. Atgaitas grīdas ietekme
Ja atgaitas gaisa pretestība, kas iet caur grīdu, ir atšķirīga, radīsies spiediena starpība, izraisot gaisa plūsmu nelielas pretestības virzienā, un netiks iegūta vienmērīga gaisa plūsma. Pašreizējā populārā dizaina metode ir paaugstinātas grīdas izmantošana. Ja paaugstinātās grīdas atvēruma attiecība ir 10%, gaisa plūsmas ātrumu var vienmērīgi sadalīt iekštelpu darba augstumā. Turklāt stingra uzmanība jāpievērš tīrīšanas darbiem, lai samazinātu piesārņojuma avotu uz grīdas.
5. Indukcijas parādība
Tā sauktā indukcijas parādība attiecas uz gaisa plūsmas ģenerēšanas parādību pretējā virzienā pret vienmērīgu plūsmu, izraisot putekļus, kas rodas telpā, vai putekļus blakus esošajās piesārņotajās zonās uz pretvēja pusi, tādējādi izraisot putekļu piesārņojumu. Iespējamās inducētās parādības ir šādas:
(1) Aklā plāksne
Tīrā telpā ar vertikālu vienvirziena plūsmu sienu savienojumu dēļ parasti ir lieli žalūzijas paneļi, kas radīs turbulentu plūsmu un lokālu atpakaļplūsmu.
(2) Lampas
Apgaismes ķermeņiem tīrā telpā būs lielāka ietekme. Tā kā dienasgaismas spuldzes siltums izraisa gaisa plūsmas paaugstināšanos, dienasgaismas spuldze nekļūs par turbulentu zonu. Parasti lampas tīrā telpā ir veidotas asaras formā, lai samazinātu lampu ietekmi uz gaisa plūsmas organizāciju.
(3) Atstarpes starp sienām
Ja starp starpsienām vai griestiem ir atstarpes ar atšķirīgām tīrības prasībām, putekļi no zonām ar zemām tīrības prasībām var tikt pārnesti uz blakus zonām ar augstām tīrības prasībām.
(4) Attālums starp mehānisko aprīkojumu un grīdu vai sienu
Ja atstarpe starp mehānisko aprīkojumu un grīdu vai sienu ir maza, radīsies atsitiena turbulence. Tāpēc atstājiet atstarpi starp iekārtu un sienu un paceliet mašīnas platformu, lai izvairītos no tiešas saskares ar zemi.
Izlikšanas laiks: Nov-02-2023