Vides aizsardzībai tiek pievērsta arvien lielāka uzmanība, īpaši pieaugot miglainajiem laikapstākļiem. Tīro telpu inženierija ir viens no vides aizsardzības pasākumiem. Kā izmantot tīro telpu inženieriju, lai labi paveiktu vides aizsardzību? Parunāsim par kontroli tīro telpu inženierijā.
Temperatūras un mitruma kontrole tīrā telpā
Tīro telpu temperatūra un mitrums galvenokārt tiek noteikts, pamatojoties uz procesa prasībām, taču, izpildot procesa prasības, jāņem vērā cilvēku komforts. Uzlabojoties gaisa tīrības prasībām, vērojama tendence noteikt stingrākas temperatūras un mitruma prasības procesā.
Parasti, pateicoties apstrādes precizitātes pieaugumam, temperatūras svārstību diapazona prasības kļūst arvien mazākas. Piemēram, liela mēroga integrēto shēmu ražošanas litogrāfijas un ekspozīcijas procesā stikla un silīcija plākšņu, ko izmanto kā maskas materiālus, termiskās izplešanās koeficienta atšķirība kļūst arvien mazāka.
Silīcija plāksne ar diametru 100 μm izraisa lineāru izplešanos 0,24 μm, kad temperatūra paaugstinās par 1 grādu. Tāpēc ir nepieciešama nemainīga temperatūra ± 0,1 ℃, un mitruma vērtība parasti ir zema, jo pēc svīšanas produkts tiks piesārņots, īpaši pusvadītāju darbnīcās, kurās ir bail no nātrija. Šāda veida darbnīcā temperatūrai nevajadzētu pārsniegt 25 ℃.
Pārmērīgs mitrums rada vairāk problēmu. Kad relatīvais mitrums pārsniedz 55%, uz dzesēšanas ūdens caurules sienas veidosies kondensāts. Ja tas notiek precīzijas ierīcēs vai shēmās, tas var izraisīt dažādus negadījumus. Ja relatīvais mitrums ir 50%, to ir viegli sarūsēt. Turklāt, ja mitrums ir pārāk augsts, putekļi, kas pielipuši silīcija plāksnes virsmai, ķīmiski adsorbēsies uz virsmas caur gaisa ūdens molekulām, un tos būs grūti noņemt.
Jo augstāks ir relatīvais mitrums, jo grūtāk ir noņemt adhēziju. Tomēr, ja relatīvais mitrums ir zem 30%, daļiņas elektrostatiskā spēka iedarbības dēļ viegli adsorbējas uz virsmas, un liels skaits pusvadītāju ierīču ir pakļautas bojājumiem. Optimālais temperatūras diapazons silīcija plākšņu ražošanai ir 35–45%.
Gaisa spiedienskontroletīrā telpā
Lielākajā daļā tīro telpu, lai novērstu ārēja piesārņojuma iekļūšanu, ir jāuztur iekšējais spiediens (statiskais spiediens) augstāks par ārējo spiedienu (statiskais spiediens). Spiediena starpības uzturēšanai parasti jāatbilst šādiem principiem:
1. Spiedienam tīrās telpās jābūt augstākam nekā netīrās telpās.
2. Spiedienam telpās ar augstu tīrības līmeni jābūt augstākam nekā blakus esošajās telpās ar zemu tīrības līmeni.
3. Durvīm starp tīrtelpām jābūt atvērtām uz telpām ar augstu tīrības līmeni.
Spiediena starpības uzturēšana ir atkarīga no svaigā gaisa daudzuma, kam jāspēj kompensēt gaisa noplūdi no spraugas zem šīs spiediena starpības. Tātad spiediena starpības fizikālā nozīme ir noplūdes (vai infiltrācijas) gaisa plūsmas pretestība caur dažādām spraugām tīrtelpā.
Publicēšanas laiks: 2023. gada 21. jūlijs