Vides aizsardzībai tiek pievērsta arvien lielāka uzmanība, īpaši pieaugot miglai. Tīras istabas inženierija ir viens no vides aizsardzības pasākumiem. Kā izmantot tīru istabu inženieriju, lai veiktu labu darbu vides aizsardzībā? Parunāsim par kontroli tīrā istabas inženierijā.
Temperatūras un mitruma kontrole tīrā telpā
Tīro telpu temperatūra un mitrums galvenokārt tiek noteikts, pamatojoties uz procesa prasībām, taču, izpildot procesa prasības, jāņem vērā cilvēku komforts. Uzlabojot gaisa tīrības prasības, pastāv stingrāku prasību tendence uz procesu un mitrumu.
Kā vispārīgs princips, pieaugošās apstrādes precizitātes dēļ temperatūras svārstību diapazona prasības kļūst mazākas un mazākas. Piemēram, liela mēroga integrētās shēmas ražošanas litogrāfijas un iedarbības procesā termiskās izplešanās koeficienta atšķirība starp stikla un silīcija vafelēm, ko izmanto kā masku materiālus, kļūst arvien mazāks.
Silīcija vafele ar diametru 100 μm izraisa lineāru izplešanos 0,24 μm, kad temperatūra paaugstinās par 1 grādu. Tāpēc ir nepieciešama pastāvīga temperatūra ± 0,1 ℃, un mitruma vērtība parasti ir zema, jo pēc svīšanas produkts tiks piesārņots, īpaši pusvadītāju darbnīcās, kas baidās no nātrija. Šāda veida darbnīcai nevajadzētu pārsniegt 25 ℃.
Pārmērīgs mitrums rada vairāk problēmu. Kad relatīvais mitrums pārsniedz 55%, uz dzesēšanas ūdens caurules sienas veidosies kondensāts. Ja tas notiek precīzas ierīcēs vai ķēdēs, tas var izraisīt dažādus negadījumus. Kad relatīvais mitrums ir 50%, to ir viegli sarūsēt. Turklāt, ja mitrums ir pārāk augsts, putekļi, kas pielipuši silīcija vafeles virsmai, tiks ķīmiski adsorbēti uz virsmas caur ūdens molekulām gaisā, kuras ir grūti noņemt.
Jo augstāks relatīvais mitrums, jo grūtāk ir noņemt saķeri. Tomēr, ja relatīvais mitrums ir mazāks par 30%, daļiņas tiek viegli adsorbētas uz virsmas elektrostatiskā spēka iedarbības dēļ, un lielam skaitam pusvadītāju ierīču ir tendence sadalīties. Silīcija vafeļu ražošanas optimālais temperatūras diapazons ir 35–45%.
Gaisa spiedienskontrolēttīrā telpā
Lielākajai daļai tīru telpu, lai novērstu ārēju piesārņojumu, ir jāuztur iekšējais spiediens (statiskais spiediens) augstāks nekā ārējais spiediens (statiskais spiediens). Spiediena starpības uzturēšanai parasti jāatbilst šādiem principiem:
1. Spiedienam tīrās telpās jābūt augstākam nekā tīrās telpās.
2. Spiedienam telpās ar augstu tīrības līmeni jābūt augstākam nekā blakus esošajās telpās ar zemu tīrības līmeni.
3. Durvis starp tīrām istabām jāatver istabām ar augstu tīrības līmeni.
Spiediena starpības uzturēšana ir atkarīga no svaiga gaisa daudzuma, kam jāspēj kompensēt gaisa noplūdi no spraugas zem šīs spiediena starpības. Tātad spiediena starpības fiziskā nozīme ir noplūdes (vai infiltrācijas) gaisa plūsmas pretestība caur dažādām spraugām tīrā telpā.
Pasta laiks: jūlijs-21-2023