Vides aizsardzībai tiek pievērsta arvien lielāka uzmanība, īpaši pieaugot dūmakainajam laikam.Tīro telpu inženierija ir viens no vides aizsardzības pasākumiem.Kā izmantot tīro telpu inženieriju, lai veiktu labu darbu vides aizsardzībā?Parunāsim par vadību tīro telpu inženierijā.
Temperatūras un mitruma kontrole tīrā telpā
Tīro telpu temperatūru un mitrumu galvenokārt nosaka, pamatojoties uz procesa prasībām, taču, izpildot procesa prasības, jāņem vērā cilvēka komforts.Uzlabojoties gaisa tīrības prasībām, procesā ir tendence izvirzīt stingrākas prasības attiecībā uz temperatūru un mitrumu.
Kā vispārējs princips, pieaugot apstrādes precizitātei, prasības temperatūras svārstību diapazonam kļūst arvien mazākas.Piemēram, liela mēroga integrālo shēmu ražošanas litogrāfijas un ekspozīcijas procesā siltuma izplešanās koeficienta atšķirība starp stikla un silīcija plāksnēm, ko izmanto kā masku materiālus, kļūst arvien mazāka.
Silīcija plāksne ar diametru 100 μm, temperatūrai paaugstinoties par 1 grādu, izraisa lineāru izplešanos par 0,24 μm.Tāpēc ir nepieciešama nemainīga temperatūra ± 0,1 ℃, un mitruma vērtība parasti ir zema, jo pēc svīšanas produkts tiks piesārņots, īpaši pusvadītāju darbnīcās, kas baidās no nātrija.Šāda veida darbnīcā nedrīkst pārsniegt 25 ℃.
Pārmērīgs mitrums rada vairāk problēmu.Kad relatīvais mitrums pārsniedz 55%, uz dzesēšanas ūdens caurules sienas veidosies kondensāts.Ja tas notiek precīzijas ierīcēs vai ķēdēs, tas var izraisīt dažādus negadījumus.Kad relatīvais mitrums ir 50%, tas viegli rūsē.Turklāt, ja mitrums ir pārāk augsts, putekļi, kas pielipuši pie silīcija vafeles virsmas, tiks ķīmiski adsorbēti uz virsmas caur ūdens molekulām gaisā, ko ir grūti noņemt.
Jo augstāks ir relatīvais mitrums, jo grūtāk ir noņemt saķeri.Tomēr, ja relatīvais mitrums ir zem 30%, daļiņas arī viegli adsorbējas uz virsmas elektrostatiskā spēka iedarbības dēļ, un liela daļa pusvadītāju ierīču ir pakļauti sabrukšanai.Optimālais temperatūras diapazons silīcija vafeļu ražošanai ir 35-45%.
Gaisa spiedienskontroletīrā telpā
Lielākajai daļai tīru telpu, lai novērstu ārējā piesārņojuma ieplūšanu, iekšējais spiediens (statiskais spiediens) ir jāuztur augstāks nekā ārējais spiediens (statiskais spiediens).Spiediena starpības uzturēšanai parasti jāatbilst šādiem principiem:
1. Spiedienam tīrās telpās jābūt augstākam nekā netīrās telpās.
2. Spiedienam telpās ar augstu tīrības līmeni jābūt augstākam nekā blakus esošajās telpās ar zemu tīrības līmeni.
3. Durvis starp tīrām telpām jāatver uz telpām ar augstu tīrības līmeni.
Spiediena starpības uzturēšana ir atkarīga no svaigā gaisa daudzuma, kam būtu jāspēj kompensēt gaisa noplūdi no spraugas zem šīs spiediena starpības.Tātad spiediena starpības fiziskā nozīme ir noplūdes (vai infiltrācijas) gaisa plūsmas pretestība caur dažādām spraugām tīrā telpā.
Publicēšanas laiks: 21. jūlijs 2023